ISSN 1991-2927
 

АПУ № 3 (53) 2018

Автоматизированная установка диагностики качества светоизлучающих гетероструктур методом динамического фотоэлектрического отклика

УДК 621.317.7

Сергеев Вячеслав Андреевич, Ульяновский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова Российской академии наук, доктор технических наук, доцент, окончил физический факультет Горьковского государственного университета им. Н.И. Лобачевского. Директор Ульяновского филиала Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова Российской академии наук, заведующий базовой кафедрой «Радиотехника, опто- и наноэлектроника» Ульяновского государственного технического университета. Имеет монографии, статьи и изобретения в области исследования характеристик полупроводниковых приборов и интегральных схем, измерения их тепловых параметров. [e-mail: Этот адрес электронной почты защищен от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра. ]В.А. Сергеев,

Васин Сергей Вячеславович, Ульяновский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова Российской академии наук, кандидат физико-математических наук, окончил физико-технический факультет Ульяновского филиала Московского государственного университета. Старший научный сотрудник УФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН. Доцент кафедры «Радиотехника, опто- и наноэлектроника» УлГТУ. Имеет статьи в области волоконной оптики, методов контроля параметров полупроводников и полупроводниковых приборов. [e-mail: Этот адрес электронной почты защищен от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра. ]С.В. Васин,

Радаев Олег Александрович, Ульяновский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова Российской академии наук, окончил радиотехнический факультет УлГТУ. Младший научный сотрудник УФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН, аспирант базовой кафедры «Радиотехника, опто- и наноэлектроника» УлГТУ. Имеет публикации в области разработки автоматизированных средств измерения параметров полупроводниковых приборов. [e-mail: Этот адрес электронной почты защищен от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра. ]О.А. Радаев,

Фролов Илья Владимирович, Ульяновский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова Российской академии наук, кандидат технических наук, окончил радиотехнический факультет УлГТУ. Старший научный сотрудник УФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН. Имеет публикации в области методов и средств неразрушающего контроля полупроводниковых приборов. [e-mail: Этот адрес электронной почты защищен от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра. ]И.В. Фролов

Автоматизированная установка диагностики качества светоизлучающих гетероструктур методом динамического фотоэлектрического отклика000_12.pdf

Рассмотрены структурная схема и принцип действия автоматизированной установки для диагностики латеральной однородности светоизлучающих гетероструктур с квантовыми ямами (ГКЯ) путем измерения и анализа фотоэлектрического отклика (фотоэдс или фототока) при их локальном динамическом фотовозбуждении узкополосным оптическим излучением видимого диапазона. В установке предусмотрена возможность выбора гармонической или импульсной модуляции интенсивности излучения засветки с регулировкой параметров модуляции. Электронно-механическая и оптическая системы позиционирования, управляемые микроконтроллером, обеспечивают засветку локальной области ГКЯ с минимальным диаметром пятна 30 мкм и точностью позиционирования ±10 мкм. Модуль сбора данных ЛА-н1USB преобразует сигнал фотоотклика в цифровой сигнал и передает его в компьютер для последующей обработки. Результаты апробации метода и установки на InGaN/GaN светодиодах в статическом режиме подтверждают наличие неоднородностей в распределении фототока по поверхности кристалла светодиода. Разработанный метод и установка могут быть использованы для диагностики качества как светоизлучающих ГКЯ, так и других классов полупроводниковых приборов с p-n-переходами: транзисторов, солнечных элементов, фотодиодов и т. д.

Светоизлучающие гетероструктуры, диагностика качества, автоматизированная установка, латеральная неоднородность, локальное фотовозбуждение, фотоэлектрический отклик.

© ФНПЦ АО "НПО "Марс", 2009-2018 Работает на Joomla!